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ITO導(dǎo)電玻璃常用語觸摸屏行業(yè)以及光伏太陽(yáng)能行業(yè)中，是一種重要的透明導(dǎo)電氧化物。在作為成品之前需要對(duì)其進(jìn)行刻蝕，最終形成導(dǎo)電線路，作用到顯示行業(yè)或者是光伏行業(yè)。

ITO導(dǎo)電玻璃的刻蝕加工有兩種工藝方式，一種是化學(xué)刻蝕法，也稱之為濕法刻蝕；另一種是激光刻蝕法，也稱之為干法刻蝕。化學(xué)刻蝕的缺點(diǎn)在于對(duì)環(huán)境的污染，線寬無非滿足越來越精細(xì)的要求，有點(diǎn)是效率高，初次投入成本低。激光刻蝕的優(yōu)點(diǎn)在于無耗材、無污染，通過高能量光束照射ITO玻璃，實(shí)現(xiàn)對(duì)ITO的汽化，形成線路圖，優(yōu)點(diǎn)在于可加工非常精細(xì)的線寬，精度高。

ITO激光刻蝕機(jī)

隨著應(yīng)用行業(yè)的發(fā)展，對(duì)加工技術(shù)的要求也不斷的提升，加工ITO導(dǎo)電圖的線寬、間隔都有了更高的要求。在與客戶溝通過程中常常會(huì)遇到的問題是，ITO激光刻蝕機(jī)能不能做到20微米以下的線寬，加工的間隔能不能做到20微米，答案是肯定的，那么究竟ITO激光刻蝕機(jī)能做多小的線寬呢？

ITO線寬的粗細(xì)是根據(jù)激光器以及光學(xué)器件決定的，總體來說在于聚焦的光斑大小以及光源對(duì)材料的熱影響。波長(zhǎng)越短、能量越低、脈寬越窄、擴(kuò)束鏡倍數(shù)越高、場(chǎng)鏡負(fù)面越小，聚焦的光斑越小，能夠做出來的線寬也就越細(xì)，當(dāng)然以上提到的幾個(gè)參數(shù)都是有一個(gè)極限值的，如擴(kuò)束鏡的倍數(shù)越高，它的能量密度越差，也不利于加工。能量過低無非對(duì)ITO表面形成汽化，不能滿足加工需求也不行。因而我們需要取一個(gè)范圍值，去適用客戶的加工需求。

另外不同的材料，在采用同樣的激光刻蝕機(jī)，做出來的線寬不一樣，比如鎳合金材料的刻蝕線寬要比ITO材料的線寬要粗，這取決于材料本身對(duì)激光波長(zhǎng)的吸收影響。本文暫不做解析，主要以ITO導(dǎo)電玻璃為參考材料。

目前元祿光電的工藝技術(shù)在ITO導(dǎo)電玻璃上做到的最小線寬是5微米，采用的是皮秒激光器，小透鏡的方式。而普遍的ITO玻璃在觸摸屏行業(yè)中的要求是在20-微米之間，這采用的是窄脈寬的紅外納秒激光器。不同的行業(yè)需求，對(duì)ITO線寬的要求不一樣，有的行業(yè)中對(duì)ITO線寬的阻值有比較高的要求，而光伏行業(yè)有部分則是要求保證刻斷、絕緣即可。

ITO激光刻蝕效果

ITO激光刻蝕效果

從中可以得出的結(jié)論是最小的ITO導(dǎo)電玻璃線寬在目前的激光市場(chǎng)范圍內(nèi)的最小線寬是5微米，根據(jù)不同的光源可選擇性做到不同的線寬，比如說紫外納秒激光最小線寬可以做到15微米。當(dāng)然也有EUV光刻機(jī)采用極紫外激光器的手段能做到納米級(jí)別也說不定，對(duì)線寬的要求，主要還在于客戶自身的產(chǎn)品需求而決定。

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